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                載德           
                            
     
             
     
	
		
    
			
    
				
    
					
				
    
				
					
				
			
    
		
    


		
    
			
    
              
				
			
    
			
		
    




 

             
           
      
           
      
       
             
       
             
      
                   
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		復旦大學快速退火爐RTP完成驗收
	
    

    


    


             
     



    
	

    



           
      
           
      
       
             
     
                
    
            
            
            
            
    
                
    
                    
                                        
    
                        
    [薦]
    
                    
    
                                        
                                        
    
                        
    
                            
    
                                復旦大學快速退火爐RTP完成驗收
                            
    
                        
    
                    
    
                
    
                
                
                
                
            
    
            
    
                
                
    
                    
                                        
    
                        
    [薦]
    
                    
    
                                        
                                        
    
                        
    
                            
    
                                
                                復旦大學快速退火爐RTP完成驗收
                            
    
                        
    
                    
    
                
    
                
               
                
                
            
    
            
                       
            
    復旦大學微電子學院從載德半導體技術有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐，一臺用于快速退火氧化工藝(RTO)，一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產，放置在復旦大學張江校區，本月均通過了學校組織的驗收，正式投入科研工作。
    

    
                        
                        
    
                關鍵詞：                
    
                                        
                                        
                                        
                                        
                                        
                                    
    
            
    
                       
            
            
    
                                                
    
                    上一個:
                                            無
                                        
                
    
                
                                                
    
                    下一個:
                                            無
                                        
                
    
            
    
            
            
            
    
                                                
    
                    上一個:
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                    下一個:
                                            無
                                        
                
    
            
    
            
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