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RTP-1200快速退火爐
韓國Ecopia公司生產，最大樣品尺寸：15mm X 20mm。RTP-1200特點：使用單相電，普通照明電即可使用；風冷設計、無須采購冷水機；真空退火，可以使用氫氮混合氣(<10%比例氫氣)。
RTP-100快速退火爐
德國優尼坦公司生產，最大樣品尺寸：4英寸晶圓或者100mm x 100mm尺寸樣品，RTP-100支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
RTP-150快速退火爐
德國優尼坦公司生產，最大樣品尺寸：6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品，RTP-150可以支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
VPO-300快速退火爐
德國優尼坦公司生產，最大樣品尺寸：12英寸晶圓或300mm x 300mm尺寸樣品，VPO-300支持惰性氣體保護、低真空、或高真空快速熱處理。
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